核心技术丨Key technolgy

 

 

 

 

 

SiC高温工艺设备研制

 

 

* 自主研发新一代8英寸SiC外延设备

 

* 自主研发水平式和垂直式SiC高温退火炉、SiC单晶炉和高温氧化炉

 

* 专业的气流场和加热场设计，工艺稳定性高

 

* 先进的控温、控压算法和进出气结构,全自动取放片操作